百級無塵車間的裝修標(biāo)準(zhǔn)以及設(shè)計(jì)參數(shù)
無塵車間級別不同,空氣潔凈度也會(huì)不同的,而且對于無塵車間的整體設(shè)計(jì)規(guī)劃區(qū)別,接下來小編就帶大家了解下百級無塵車間的裝修標(biāo)準(zhǔn)以及設(shè)計(jì)參數(shù)!
百級無塵車間設(shè)計(jì)裝修的標(biāo)準(zhǔn)的A級就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下。
當(dāng)前,在芯片生產(chǎn)加工上的無塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于A級的,像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。
百級無塵車間設(shè)計(jì)參數(shù)
溫度:22℃±2;濕度:55%±5;基本需要滿布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系統(tǒng)。
還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
百級無塵車間若非得用換氣次數(shù)來衡量的話200次/h以上,
百級無塵車間若是以層流風(fēng)速來說的話>0.35m/s,
百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
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